Wawasan Industri|Seberapa Pentingkah Kemurnian Gas dalam Manufaktur Semikonduktor?

Konsensus-yang sudah mapan berlaku dalam manufaktur semikonduktor: batas atas kinerja chip ditentukan oleh desain, sedangkan batas bawah hasil produksi bergantung pada kemurnian material.

Gambar bersumber dari internet.

Dari pembersihan wafer dan deposisi-film tipis hingga etsa dan doping, proses produksi untuk satu wafer berukuran 12-inci melibatkan lebih dari 30 jenis gas proses, termasuk silan, amonia, nitrogen trifluorida, tungsten heksafluorida, hidrogen klorida, dan banyak lagi. Setiap gas harus dikirim ke ruang reaksi dengan kemurnian sangat tinggi.

Jejak kotoran pada tingkat ppb (kelembaban, oksigen, partikel) yang memasuki pipa gas dapat memicu cacat-film tipis dan kontaminasi antarmuka, yang secara langsung menurunkan hasil produksi. Mengambil proses 3nm sebagai contoh, setiap chip bernilai ratusan dolar AS; fluktuasi hasil sebesar 1% saja sudah cukup untuk menghapus keuntungan senilai puluhan juta.

Dalam industri semikonduktor, "kemurnian tinggi" tidak sama dengan "proses-siap". Tantangan sebenarnya terletak pada retensi kemurnian - menjaga gas bebas kontaminasi-di seluruh jalur pengiriman dari sumber gas hingga titik penggunaan (POU).

Tiga upaya perlindungan inti bekerja sama untuk mencapai hal ini:

(1) Pemilihan Bahan: Badan pipa dan katup dibuat dari baja tahan karat 316L ganda VIM+VAR yang dilebur kembali untuk meminimalkan pelepasan unsur gas dari bahan dasar.

(2) Penyelesaian Permukaan: Kekasaran permukaan internal Ra Kurang dari atau sama dengan 0,25 μm (10 μin.) dengan perlakuan electropolishing (EP) untuk mengurangi adhesi partikulat dan adsorpsi kelembapan.

(3) Integritas Penyegelan Hermetik: Laju kebocoran helium Kurang dari atau sama dengan 1×10⁻⁹ atm·cc/detik untuk memblokir masuknya kontaminasi eksternal sepenuhnya.

VIGOR VUPS Lini produk Ultra-Kemurnian Tinggi mencakup seluruh rantai pengiriman gas yang mematuhi standar SEMI, termasuk perlengkapan segel permukaan logam VCR, katup diafragma dengan kemurnian tinggi, dan pengatur tekanan dua tahap.

Semua produk dirakit, diuji, dan-kantong vakum-ganda dikemas di ruang bersih Kelas 100 sebelum dikirim. Yang diterima pelanggan bukan hanya katup individual, namun sistem jaminan kemurnian ultra-plug and play yang lengkap.

Produk VIGOR telah beroperasi dengan andal dalam sistem pengiriman gas khusus dan jaringan pipa pasokan gas CVD/PVD di banyak pabrik wafer, kompatibel dengan gas proses penting seperti silan, nitrogen trifluorida, dan boron triklorida.

Manufaktur semikonduktor adalah perlombaan tanpa akhir melawan kontaminan - dan misi VIGOUR adalah memastikan garis awal yang paling bersih untuk perlombaan ini.